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146i型多种气体校准仪
●在局域网上可被远程访问
●大屏幕液晶显示
●用闪存增强数据存储性能
●优化的设计加强了电路的通用性和集成性
●易于维护的内部布局
●配有质量流量稀释系统
●配有产生O3和NO2的气相滴定装置
●可配产生SO2、NO2、H2S、NH3等气体的渗透炉
流量测量准确度
±2%读数或1%的满度值，以较低者为准（
20%至100%满度值）
流量测量线性
0.5%满度值
流量测量重复性
±2%读数或1%的满度值，以较低者为准（
20%至100%满度值）
零气流量
5或10（准标）或20slm
标气流量
50或100（标准）或200sccm
渗透炉温度
30或35或45℃±0.1℃
臭氧源速出浓度
6ppm-liters（稳定性和重复性满足或超过U.S.EPA的要求）
